យ៉ាន់ស្ព័រស្ពាន់មិនត្រឹមតែមានលក្ខណៈពង្រីកទាបនៃ tungsten ប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែក៏មានលក្ខណៈចរន្តកម្ដៅខ្ពស់នៃទង់ដែង។ដោយការផ្លាស់ប្តូរសមាមាត្រនៃ tungsten និងទង់ដែង មេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅ និងមុខងារចរន្តកំដៅនៃ tungsten និង alloy ទង់ដែងត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរ ដូច្នេះវាលកម្មវិធីនៃ tungsten និង alloy ទង់ដែងគឺកាន់តែទូលំទូលាយ។យ៉ាន់ស្ព័រទង់ដែង Tungsten ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងសម្ភារៈ semiconductor ដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិរូបវ័ន្ត និងមេកានិចល្អ សមត្ថភាពល្អក្នុងការធ្វើចរន្ត និងមេគុណការពង្រីកកម្ដៅស្រដៀងគ្នាជាមួយ wafers ស៊ីលីកូន និងសម្ភារៈសេរ៉ាមិច។
ភាពប្លែកនៃ electroplating ទង់ដែង tungsten គឺថាវាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យអនុវត្តការធ្វើតេស្តភាពចាស់យោងទៅតាមបច្ចេកវិទ្យា electroplating ដែលមានស្រាប់ និងគំរូ electroplating មុនពេល electroplating ។យ៉ាន់ស្ព័រ tungsten-copper ដែលត្រូវបាន electroplated ត្រូវបានដាក់ក្នុងឡខ្វះចន្លោះនៅ 800 ℃ ហើយត្រូវបានព្យាបាលដោយការរក្សាកំដៅប្រហែល 20 នាទី។
ប្រសិនបើគ្មានប្រតិកម្មមិនល្អដូចជាពពុះ និងការប្រែពណ៌ត្រូវបានរកឃើញនៅក្នុងយ៉ាន់ស្ព័រទង់ដែង tungsten បន្ទាប់ពីឡ នោះវាបង្ហាញថាមិនមានបញ្ហាជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យា electroplating នោះទេ ហើយ tungsten-copper electroplating អាចត្រូវបានអនុវត្តទៅតាមបច្ចេកវិទ្យានេះ។ក្នុងករណីមានប្រតិកម្មមិនល្អដូចជាពពុះ និងការប្រែពណ៌នៃយ៉ាន់ស្ព័រ-ទង់ដែង សូមបញ្ឈប់ការប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យានេះ ដើម្បីជៀសវាងការខ្ជះខ្ជាយធនធាន។សូមពិគ្រោះជាមួយបុគ្គលិកផ្នែក electroplating ដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ ដើម្បីពិភាក្សាអំពីផែនការកែលម្អ។ដោយសារតែយ៉ាន់ស្ព័រទង់ដែង tungsten ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយការរួមបញ្ចូលគ្នានៃ tungsten និងទង់ដែង ហើយដែក tungsten គឺមិនរលាយជាមួយលោហៈផ្សេងទៀត ដូច្នេះវាពិបាកក្នុងការអនុវត្តបច្ចេកវិទ្យា electroplating ។
អំពីវិធីសាស្រ្ត electroplating នៃ alloy tungsten-ទង់ដែង: យ៉ាន់ស្ព័រទង់ដែង tungsten ត្រូវតែត្រូវបានសម្អាតមុនពេល electroplating ដោយប្រើរាវសម្អាត ultrasonic និងអព្យាក្រឹត ភាពមិនបរិសុទ្ធលើផ្ទៃ tungsten-ទង់ដែងនឹងត្រូវបានសម្អាត ដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតជាប់នៃផ្ទៃ tungsten-ទង់ដែង។ប៉ុន្តែវាត្រូវតែត្រូវបានកត់សម្គាល់ថាភ្នាក់ងារសម្អាតត្រូវបានហាមឃាត់មិនឱ្យប្រើអាស៊ីតខ្លាំងនិងសារធាតុអាល់កាឡាំង។លើសពីនេះទៀតមុនពេលសម្អាតនិងបច្ចេកវិទ្យា electroplating ចន្លោះពេលរវាងទាំងពីរមិនគួរវែងពេកទេ។បន្ទាប់ពីការលាងសម្អាតការផ្សាំអេឡិចត្រូតគួរតែត្រូវបានអនុវត្តភ្លាមៗ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២៦ ខែកក្កដា ឆ្នាំ២០២២